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      MA300 圖形電鍍系列干膜光阻劑

        MA300 圖形電鍍系列干膜光阻劑

      MA300 圖形電鍍系列干膜光阻劑是一種具備自動檢測能力、xx率、全水溶性的干膜光阻劑,可使用于內層和外層的應用。本產品在酸性蝕刻、蓋孔與蝕刻和酸性電鍍制程中均有突出表現。

      特色及優點

      高分辨率 -1-2 mil 線寬/線距

      xx的貼合度-高良率

      高附著力-高良率

      xx的圖像顯示對比,具備自動光學檢測能力

      特有的感光速度-SS 7 at 30-40 mJ/cm2

      項目
      單位
      MA312
      MA315
      備注
      厚度
      μm
      30
      38

      感度*1
      mj/cm2
      25
      30

      最短顯影時間
      sec.
      20
      25

      附著力*1*2(L/S=X/250)
      μm
      25
      30

      解析度*1*2(L/S=X/X)
      μm
      25
      30

      蓋孔孔徑
      μm
      //
      6.5

      *1:MA315(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推薦硬化格數的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光機制作(UVE-HSP5K-11

      *2:1wt%Na2CO3,30℃,最短顯影時間x2

      *3:分辨率、解析度以及顯影后圖像。



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